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在线薄膜厚度测量仪

简要描述:FR-InLine 是一款模块化可扩展的在线薄膜厚度测量仪(膜厚仪),可进行在线非接触测量 3nm-1mm 厚度范围内的涂层。
FR-InLine 膜厚仪并可以依据各种不同应用设置多个参数的实时测量,例如:反射率和透射率光谱、厚度、色座标。
FR-InLine 膜厚仪测量软件可以在标准 Windws 10/11 中执行。

  • 产品型号:FR-InLine
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2022-08-22
  • 访  问  量: 239

详细介绍

1、简述

FR-InLine 是一款模块化可扩展的在线薄膜厚度测量仪(膜厚仪),可进行在线非接触测量 3nm-1mm 厚度范围内的涂层。

FR-InLine 在线薄膜厚度测量仪(膜厚仪)并可以依据各种不同应用设置多个参数的实时测量,例如:反射率和透射率光谱、厚度、色座标。

FR-InLine 膜厚仪测量软件可以在标准 Windws 10/11 中执行。

2、产品应用

  • 透明和半透明涂层

  • 眼镜上的涂层

  • 食品工业

  • 光学薄膜

  • 包装

  • 粘合剂

  • 聚合物

  • 可挠式电子和显示器

  • 其他各种工业……

(联系我们了解您的应用需求)

3、产品特征

FR-InLine 膜厚仪提供半宽(蕞多 4 通道)和全宽(蕞多 8 通道)3U 机架安装机箱,可实时测量涂层的薄膜厚度。 FR-InLine 通过标准I/控制埠为启动/停止/复位功能提供外部触发选项。测量数据可立即供其他软件使用,以进一步调整生产流程。工程师可以轻易完成安裝。

4、附件

FR-InLine 附带多个附件,例如:

§TCP/IP 通信

§支持任何特定需求长度和配置的反射探头和光纤

§光学模块(例如聚焦透镜、运动支架),以协助探头安装在产线上

5、其他特点

提升流程运行时间和产品质量

减少原材料消耗和成本控制

6、FR-InLine 规格(标准配置)

Model

UV/Vis

UV/NIR-EXT

VIS/NIR

NIR

NIR-N1

WLRange–nm波长

200–850

200–1020

370–1020

900–1700

850-1050

Pixels像素

3648

3648

3648

512

3648

ThicknessRange*1

3nm-80um

3nm-90um

15nm-90um

200um

1um-400um

n&k-MinThick

50nm

50nm

100nm

500nm


Thick.Accuracy*2

1nm/0.2%

1nm/0.2%

1nm/0.2%

3nm/0.4%

50nm/0.2%

Thick.Precision*3,4

0.02nm

0.02nm

0.02nm

0.1nm


Thick.stability*5

0.05nm

0.05nm

0.05nm

0.15nm


LightSource

ExternalDeuterium&Halogen,2000h

Halogen(internal)3000h(MTBF)

IntegrationTime

5msec(min)


5msec(min)


Spotsize

Diameterof350um(smallerspotsizeoptionsareavailableuponrequest)

MaterialDatabase


>700differentmaterials


Connectivity



USBorTCP/IP



Power


100-240V50-60Hz



FR-InLine膜厚仪测量图示FR-InLine膜厚仪测量图示2

注:

*1、规格如有变更,恕不另行通知

*2、与校正过的光谱椭偏仪和x射线衍射仪的测量结果匹配

*3、超过15天平均值的标准偏差平均值,样品:硅晶片上1微米Si2

*4、标准偏差100次厚度测量结果,样品:硅晶片上1微米Si2,

*5、15天内每日平均值的2*标准差。样品:硅片上1微米Si2。

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