详细介绍
美国FSM 薄膜应力及基底翘曲测试设备
在衬底镀上不同的薄膜后, 因为两者材质不一样，以及不同的材料不同温度下特性不一样, 所以会引起应力。 如应力太大会引起薄膜脱落, 引致组件失效或可靠性不佳的问题。 薄膜应力激光测量仪利用激光测量样本的形貌,透过比较镀膜前后衬底曲率半径的变化, 以Stoney’s Equation计算出应力, 是品检及改进工艺的有/效手段。
1) 快速、非接触式测量
2) 128型号适用于3至8寸晶圆
128L型号适用于12寸晶圆
128G 型号适用于470 X 370mm样品，
另可按要求订做不同尺寸的样品台
3) 双激光自动转换技术
如某一波长激光在样本反射度不足，系统会自动使用
另一波长激光进行扫瞄，满足不同材料的应用
4) 全自动平台，可以进行2D及3D扫瞄(可选)
5) 可加入更多功能满足研发的需求
电介质厚度测量
6) 500 及 900°C高温型号可选
7) 样品上有图案亦适用
美国FSM 薄膜应力及基底翘曲测试设备 FSM128规格
| 测量方式 | 非接触式(激光扫瞄) |
| 样本尺寸 | FSM 128NT: 75 mm to 200 mm FSM 128L: 150 mm/ 200 mm/ 300mm FSM 128G: /大550×650 mm |
| 扫瞄方式 | 高精度单次扫瞄、2D/ 3D扫瞄(可选) |
| 激光强度 | 根据样本反射度自动调节 |
| 激光波长 | 650nm及780nm自动切换(其它波长可选) |
| 薄膜应力范围 | 1MPa — 4 GPa(硅片翘曲或弯曲度变化大于1 micron) |
| 重复性 | 1% (1 sigma)* |
| 准确度 | ≤ 2.5%使用20米半径球面镜 |
| 设备尺寸及重量 | FSM 128: 14″(W)×22″(L)×15″(H)/ 50 lbs FSM128L:14″(W)×26″(L)×15″/ 70 lbs FSM128G:37″(W)×48″(D)×19″(H)/ 200 lbs |
| 电源 | 110V/220V, 20A |
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