台阶仪

探针测量是通过监测精密探针划过薄膜表面的偏移测量薄膜厚度和粗糙度，常常是不透明薄膜如金属薄膜的其中一种测量方法。

KOSAKA 台阶仪（探针台）具有以下特点：

二维／三维表面粗度解析及台阶测定，可实现高精度、高辨识能力及*的安全性。

用于平板显示器、硅片、硬盘等的微细形状台阶／粗度测定另外也可利用微小测定力来对应软质样品表面测定。

具备载物台旋转功能，便于定位下针位置。

高精度 • 高稳定性 • 功能超群。

FPD 基板 • 硅片 • 硬盘等

微细形状、段差、粗糙度等测量。

KOSAKA ET4000系列台阶仪提供多型号选择，满足从研发到量产的多种测量需求：ET4000M适用于高精度基础测量，ET4000A实现全自动操作，ET4000AK支持二维/三维自动扫描与表面形貌重建，ET4000L可应对大尺寸FPD基板，ET4300则专为12英寸晶圆全行程连续测定设计。
全系列垂直分辨率可达≤0.1 nm，台阶高度重复性优于5 Å，探针力可低至μN级，适用于光刻胶、柔性薄膜等软质材料。水平扫描范围与载物台尺寸根据型号灵活配置，支持自动多点测量、Mapping输出及SEMI标准兼容的分析软件。
在服务方面，我们提供探针耗材供应、定期校准、技术培训及快速售后响应，并可依据您的样品与应用场景，提供详细技术规格书、样品实测或在线演示支持，欢迎咨询了解。