此客户位于香港,是一所公立研究型综合大学,同时也是大学教育资助委员会九所拥有全面自行评审资历的大学之一,为香江学者计划、丝绸之路大学联盟、粤港澳高校联盟、粤港澳高校智慧校园联盟、京港大学联盟、中俄工科大学联盟、沪港大学联盟成员高校,商学院获AACSB和EQUIS双重认证,能源与环境学院获得英国CIWEM和IGEM工程师资格;2024~25年度,大学位居英国QS世界大学62位;2025~26年度,美国U.S. News世界大学54位;英国泰晤士高等教育世界大学78位;中国软科世界大学学术101-150位;2024年位列CWUR世界大学232位。
EVG®610是一款紧凑型多功能研发系统,可处理小片和最大200 mm的晶圆。

EVG610支持各种标准光刻工艺,如真空,硬,软接触和接近式曝光模式,可选择背部对准方式。此外,该系统还提供其他功能,包括键合对齐和纳米压印光刻(NIL)。EVG610提供快速处理和重新加工,以满足不断变化的用户需求,转换时间不到几分钟。其先进的多用户概念适合初学者到专家级各个阶层用户,非常适合大学和研发应用。