此客户位于深圳,是国家重点实验室、国家保密单位,在新的历史阶段,坚决扛起服务国家战略、履行国家使命的责任担当,秉承“交流无障碍、连接无极限、进化无止境”的发展愿景,朝着人类社会、信息空间、物理世界三者和谐共融的未来图景,全力抢占科技制高点、服务国家高水平科技自立自强,努力建设战略性科技力量,为我国建设成为世界科技强国作出重大贡献。客户采购多台EVG品牌的设备可用于涂胶,键合前清洗,等离子活化,晶圆键合,晶圆解键合,解键合后清洗等功能。

EVG晶圆键合主要优势:
1、晶圆键合机厂家,在技术,用户基础,服务等方面拥有绝对优势,包括精度和长期稳定性等方面。
2、EVG自动,低压力自动契型补偿功能,通过上加热器的重力运动,实现片片找平功能。
3、EVG的键合对准技术,最高可实现50纳米的对准精度。
4、EVG压力的施加是独立于键合腔内的气体压力,并标配压力均匀保护盘,确保晶圆上的压力均匀性,而且接触压力可在10—100kN之间选配。
5、EVG全自动的晶圆键合机的模块就是手动的半自动键合机,可以更轻松实现工艺的量产转移。
6、全开式的键合腔,可以实现不同键合种类,晶圆尺寸键合的夹具之间轻松切换和维护工作。