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岱美仪器拿到客户1台膜厚测量仪FR-Scanner订单

发表时间:2026/9/17 14:40:26

此客户位于安徽省的高新技术产业开发区集成电路产业集群内,先后获得“国家高新技术企业”、“国家鼓励的重点集成电路设计企业”、“安徽省高层次人才团A类”、“2021年中国隐形独角兽500强”、“安徽省专精特新中小企业”、“合肥市企业技术中心”、“合肥高新区瞪羚企业”等称号。



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FR-Scanner-AIO-Mic 模块化厚度测绘系统平台,集成了光学、电子和机械模块,用于表征图案化薄膜光学参数。典型案例包括(但不限于)微图案表面、粗糙表面等。


晶圆放置在真空吸盘上,该真空吸盘支持尺寸/直径达 300 毫米的各种晶圆,执行测量光斑尺寸小至几微米的光学模块。FR-Scanner-AIO-Mic 具超高精度和可重复性的电动RΘ 载物台,在速度、精度和可重复性方面具有高性能。