HerzTS主动隔振台介绍：在21世纪纳米技术(即先进的半导体代表相关的信息技术，基因疗法等生命科学相关技术，原子或分子处理如MEMS和工程技术等新材料生产)，振动、噪声、电磁领域、热、湿度、干扰等是测量环境的抑制因素。在纳米技术中，为了获得可靠的结果，使用充气被动隔振台无法隔离低频振动，此时需要主动隔离。主动式隔振系统“TS系列”将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。它将有助于发展目前的技术和测量、创新和发展未知的技术。HerzTS主动隔振台特点：1、在全部的6个自由度范围...