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岱美中国拿到Herz 2台减震台订单

发表时间:2026/9/17 14:06:19

岱美中国拿到Herz隔震台的订单。客户位于北京,是一家集成电路中心平台,拥有技术资质,主要为产学研链条服务。



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Herz是个拥有超过30年行业经验的隔震台系统,且在这个领域上有着相当丰富的经验,与此同时Herz测量技术取得了巨大进步,一些灵敏度高的仪器可能是一个自然谐振频率的被动系统,只有主动隔振系统才能消除功臣。Herz通过发展主动隔振系统的同时补充了被动系统,新的主动隔振系统可谓仪器提供各种消除振动干扰的需求。

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HERZ的主动式防振台,由瑞士Table Stable公司生产。该公司成立30多年,现已成为主动隔振系统领域,拥有丰富的行业经验。主动式隔振系统广泛应用在高精度的测量、测试对振动敏感的环境下,例如SEM、原子力显微镜等等。尤其是在低频状况下,可以有超过90%的振动被屏蔽。

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产品设计原理:

一个振动干扰的案例:

当振动系统关闭时,由于受到干扰,图像变得模糊,当振动系统打开后,振动被消除且图像变得清晰。

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一个振动干扰效果的例子:

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实际测量的结果:

AVI主动隔振范围在1HZ-200HZ之间,提供很大范围的频率

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不同负载的振动传输率:

AVI的隔振性能在30HZ是一个重要参考,负载稍有增加,频率范围会更高。

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隔振前后效果对比:

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