高精度主动减振平台

高精度主动减振平台(主动减震台)产品介绍：

在3D空间的6个自由度中主动式隔振  从0.7 Hz 到100 Hz

在21世纪纳米技术(即先进的半导体代表相关的信息技术,基因疗法等生命科学相关技术,原子或分子处理如MEMS和工程技术等新材料生产), 振动、噪声、电磁领域、热、湿度、干扰等是测量环境的抑制因素。

在纳米技术中，为了获得可靠的结果，使用充气被动隔振台无法隔离低频振动，此时需要主动隔离。

先进的主动式隔振系统“TS 系列” 将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。它将有助于发展目前的技术和测量、创新和发展未知的技术。

装载设备：

扫描电子显微镜，如 AFM 3D表面分析仪，激光显微镜，激光干涉仪，液体表面张力测量系统，显微硬度测量仪，医疗检测设备等。

高精度主动减振平台(主动减震台)特点：

1、在全部的6个自由度范围内，从0.7Hz到100Hz，TS系列产品提供优良的主动隔振性能。

2、当仪器装载时，高度调整会自动进行。

3、即使当负载偏离中心时，自动调平功能也能保持水准。当高重心的仪器被加载时，给予稳定性。

4、通过按下前方的按钮，系统可以锁定或者解锁。锁定功能可以防止在系统重新加载或传输中发生损坏。

5、前方的显示屏展示了在X,Y和Z方向的实际振动水平。

6、主动隔振也可以通过使用可选的远程控制箱来从外部启用或禁用。(单独出售) 有关详情，请与我们联系。

TS应用案例

Herz系列产品创建稳定的测量环境

支持改善TS的隔振性能

主动式隔振系统控制水平和垂直方向20μm的振动振幅。如果工作台或桌面不够坚硬，TS系列产品的隔振性能将会降低，或者振动会放大。我们提供具有内置阻尼功能的刚性框架，以实现TS系列产品的理想性能。

带有钻孔和螺纹孔的安装板

此安装板由磁铁不锈钢和铝制成。定制的钻孔位置可以根据要求提供。

TS-150属于Herz主动式隔振系统，专为扫描电子显微镜、原子力显微镜（AFM）、激光干涉仪、表面轮廓仪及纳米压印设备等高精密仪器设计，可有效隔离0.7 Hz起的低频振动干扰，弥补传统被动气浮隔振台在低频段隔振能力不足的问题。该系列提供不同负载能力的型号，TS-150适用于中型设备，如需承载更重或更高重心的仪器，可咨询更大负载型号。

在实际部署时，隔振效果与支撑平台的刚性密切相关——若工作台刚度不足，可能影响主动隔振性能，建议搭配厂家推荐的阻尼刚性框架或蜂窝光学平台使用。此外，用户可根据仪器底部接口定制安装板的螺纹孔位置，便于直接固定设备；对于需要远程控制或集成到自动化测量系统的场景，可选配外部远程控制箱实现隔振功能的启闭。

如需评估实际隔振效果或获取与您现有仪器匹配的安装方案，可联系我们索取详细技术规格书、预约现场演示或进行样品实测。