FilmSense多波段椭偏仪

第四代通用规格参数

紧凑型光学组件：光源尺寸 125 x 80 x 60 mm，检测器尺寸 110 x 80 x 60 mm。

连接简便：配备 +12V 壁挂式电源适配器、以太网接口（Ethernet）以及光源-检测器连接线缆。

电动光源起偏器：
– 支持仪器自动校准；
– 支持区域平均测量，有效提升测量精度。

测量精度显著提升：光强达到初代 FS-1 型号的 4 倍，配合升级的检测器电子元件，使测量精度实现倍增（离位测量精度提升 2 倍，原位测量精度提升 4 倍）。

• 8个波长，光谱范围 370 – 950 nm

• 紫外波长（370 nm）在测量 < 10 nm 的超薄膜时，能够提供更高的灵敏度。

• 3个较长波长（735、850 和 950 nm）支持测量较厚的透明薄膜（最厚可达 5 μm），以及吸收性半导体薄膜（如多晶硅 poly-Si、硅锗 SiGe、非晶硅 a-Si 等）。

• 借助这3个较长波长，薄膜电阻率的测量（基于 Drude 德鲁德模型）也得到了改善。

• 8个波长与更宽的光谱范围，进一步提升了多层膜堆叠结构的测量能力。

• 入射角：65°。

• 样品装载：采用手动装载与高度调节。

• 适用样品尺寸：直径最大 200 mm，厚度最大 20 mm。

• 样品倾斜度：支持 ±2° 范围内的倾斜调节。

• 光斑尺寸：照射在样品上的光斑大小为 4 x 9 mm。

• 设备外观：占地面积小（180 x 400 mm），机身轻巧（仅重 5 kg）。