详细介绍
GrazingMaster600平面度测量仪专业为微米级平面度平面零件制造商提供纳米级的表面平整度测量功能。采用非接触式光学干涉技术快速测量零件的整个表面，可以帮助用户快速评价从光滑到粗糙平面的平面度误差，尤其适合非镜面类平面表面的纳米级平面度精密测量。同时，系统集成白光干涉三维测量显微镜，可以同步实现精密平面表面微观粗糙度和微结构的三维测量。
检测原理
掠入射干涉仪利用掠入射光线与表面相互作用，通过测量反射光的干涉图案来获取表面的形状信息。这种方法特别适用于非镜面精密平面的平面度测量，因为掠入射光线能够更好地覆盖表面的微小变化，在非镜面平面上实现干涉条纹对比度。结合高稳定性相移干涉测量实现非镜面平面样品的纳米级分辨率平面度测量。
GrazingMaster集成精密运动平台，少量几次拼接可以完成300-600mm口径样品的全口径测量。
产品优势
平面度测量分辨率达到10nm量级，解决三坐标测量分辨率难以满足微米级平面度精密平面测量要求的难题
非接触测量：避免传统接触式测量仪对精密表面的损伤风险
全口径采样：高密度成像式采样可以解决点测式和线扫式测量遗漏局部平面度异常的风险
大口径测量能力：通过少数几次拼接即可完成300mm-600mm口径的全口径测量，测量效率高，同时精度更加可靠
白光干涉显微模组具备纳米级纵向分辨率，覆盖光滑到粗糙各种表面的粗糙度精确测量，同时可以测量平面上微凸点和微孔等微结构的三维测量
一台设备满足精密平面零件的关键宏观轮廓精度（平面度）和微观轮廓精度（粗糙度，台阶高度和孔深）测量需求，测量功能全面，效率高
适用对象
各类非镜面和镜面精密平面
✓CMP化学机械抛光头
✓晶圆/玻璃基板研磨盘
✓半导体精密零部件
✓半导体真空吸盘 （微孔陶瓷，金属）
✓精密轴承和发动机缸体端面
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