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膜厚仪
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薄膜厚度测量的光学模块可容纳所有光学部件:分光计、复合光源(寿命10000小时)、高精度反射探头。因此,在准确性、重现性和长期稳定性方面保证了优异的性能。
硅片厚度测量仪采用的是近红外光(NIR)来测量膜层厚度,因此可以测试一些肉眼看是不透明的膜层( 比如半导体膜层) 。
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