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岱美拿到客户1台ThetaMetrisis 膜厚仪订单

发表时间:2026/9/17 13:55:00

此客户位于深圳,是中央批准成立的突破型、平台型一体化的网络通信领域新型科研机构。作为国家战略科技力量的重要组成部分,实验室聚焦宽带通信、新型网络、网络智能等国家重大战略任务以及粤港澳大湾区、中国特色社会主义先行示范区建设的长远目标与重大需求,按照“四个面向”的要求,开展领域内战略性、前瞻性、基础性重大科学问题和关键核心技术研究。客户采购XY200机型主要用于带图案样品的自动测量,XY位移平台的精度达到+/-2um



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FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY200 模块化厚度测绘系统平台,集成了光学、电子和机械模块,用于表征图案化薄膜光学参数。典型案例包括(但不限于)微图案表面、粗糙表面等。


晶圆放置在真空吸盘上,该真空吸盘支持尺寸/直径达 200 毫米的各种晶圆,执行测量光斑尺寸小至几微米的光学模块。电动平台提供XY方向200 毫米的行程,在速度、精度和可重复性方面具有高性能