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岱美拿到客户1台ThetaMetrisis 订单

发表时间:2026/9/17 14:34:55

此客户位于广州,主要聚焦国家和粤港澳大湾区对重点新材料的需求,以增强先进材料自主创新能力为核心,着重开展应用基础研究、应用开发研究,突破重大工程和新兴产业培育急需的核心关键技术。


客户靶向国家科技发展“卡脖子”技术需求及大湾区重点新材料应用产业化,已基本完成“1+1+X”战略中两个“1” 的布局,即着力打造以飞行起降动力学大装置为核心的航空轮胎研发平台,推动轮胎制造;打造芯片化学材料研发平台,推动先进制程验证及原材料国产化;同步推进国内外其他研发力量在电子信息、生物医用、特种高分子和先进能源材料与器件等领域若干(X)项创新成果的转移转化,将持续深化平台建设,不断产出梯次接续的标志性科技成果,成为国家和粤港澳大湾区先进材料技术创新的源头和辐射中心。


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FR-Scanner-AIO-Mic-XY300 是一款整合自动薄膜厚度测绘系统,用于全自动图案化晶圆上的单层和多层涂层厚度测量。电动X-Y载物台提供适用尺寸 300mm x 300mm毫米的行程,通过真空固定在载台上时进行精确测量。可依测量厚度和波长范围应用需求可在在 200-1700nm 光谱范围内提供各种光学配置。


FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY300模块化厚度测绘系统集成了光学、电子和机械模块,可兼用于对无图形和图形薄膜(例如微图形表面、粗糙表面)进行精确测量 。将晶圆放置在真空吸盘上(晶圆尺寸直径≤300mm)并配备反射率标准件。由功能光学模块执行测量,光斑尺寸小至几微米。电动平台提供XY方向 300 毫米的行程,在速度、精度和可重复性方面具有高性能。


FR-Scanner-AIO-Mic-XY300提供了:

o 实时反射率光谱测量

o 薄膜厚度、光学特性、非均匀性测量、厚度测绘

o 使用集成的、USB 连接的高质量彩色相机进行成像

o 测量参数广泛统计数据

o 半自动图案对准功能用于测量周期性图形区域

o 独特的软件功能,例如:Click2Move (萤幕点击定位量测点)、比例尺