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从激光到裂纹:超薄晶圆隐切的精密工艺解析
2026-07-29

在半导体制造领域,晶圆切割是芯片分离的关键工序,其精度与效率直接影响芯片良率与性能。随着芯片向小型化、高密度集成发展,晶圆厚度不断减薄(50μm以下),传统切割技术因机械应力与热损伤问题面临巨大挑战。超薄晶圆隐切技术应运而生,以其非接触式、...

  • 2023-06-08

    电镜隔振台是一款紧凑型模块化的主动隔振系统,有利于为基础研究、应用研究、生产等领域所用精密仪器创造稳定的测量环境。本产品可在宽频率范围内进行隔振,为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、微型检测设备等提供优异的隔振性能。工作原理:安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响,有效的解决方案则是使用隔振台,以便营造适合该设备的条件。电镜隔振台使用电气控制,通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动,并基于该信息,执行器沿相反方向产生...

  • 2023-06-08

    1.简介光学光刻(Opticallithography),也称为光学平版印刷术或紫外光刻,是在其他处理步骤(例如沉积,蚀刻,掺杂)之前用光刻胶对掩模和样品进行构图的方法。2.设备(接近式光刻机)2.1HMDS及涂胶1)标准旋转工艺中包括HMDS蒸汽预处理2)烤箱-批量处理多个晶圆3)HMDS也可以在手动旋转器上旋转涂布4)涂胶机上进行光刻胶的涂布2.2对准接触光刻1)光刻前的对准2)对准器——处理具有对准图形的晶圆3)EVG610等掩模对准机——尺寸从碎片到12”晶圆4)曝光...

  • 2023-06-07

    电容式位移传感器是一种常用的测量装置,可以实时监测物体的位置、形态和运动状态等。但是,在使用电容式位移传感器时,也存在一些需要注意的问题,以下为详细介绍:1.静电干扰:电容式位移传感器对静电干扰比较敏感,在使用时应尽可能减少或避免静电干扰。特别是在干燥环境下,静电干扰更加严重,会造成误差的产生。2.灵敏度:本产品的灵敏度较高,因此需要进行相应的校准,以确保其精度和可靠性。校准时应注意传感器与被测对象之间的距离、介质、温度等因素的影响。3.温度漂移:温度变化会导致产品本身的参数...

  • 2023-06-05

    粗糙度测定仪的应用表面质量的特性是零件非常重要的特性之一,在计量科学中表面质量的检测具有重要的地位。以前人们是用标准样件或样块,通过肉眼观察或用手触摸,对表面粗糙度做出定性的综合评定。目前粗糙度仪主要涉及的行业领域有:一、非金属加工制造业,随着科技的进步与发展,越来越多的新型材料应用到加工工艺上,如陶瓷、塑料、聚乙烯,等等,现在有些轴承就是用特殊陶瓷材料加工制作的,还有泵阀等是利用聚乙烯材料加工制成的。这些材料质地坚硬,某些应用可以替代金属材料制作工件,在生产加工过程中也需要...

  • 2023-06-02

    电容式位移传感器是一种常用的非接触式测量设备,用于测量物体的位移、压力、形变等参数。它主要由电容传感器和测量电路组成。目前,电容式位移传感器在工业自动化控制、机械加工、汽车行业等领域得到了广泛应用。它可以测量各种类型的位移、形变、压力和负载等参数,并且具有高精度、高稳定性和长寿命等特点。例如,在机械加工中,它可用于检测机床、刀具、工件等物体的运动状态和变形情况,从而实现精密加工。在汽车行业中,它可以用于测量刹车踏板的位置,以及轮胎和悬挂系统的位移等参数。其工作原理:电容式位移...

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