此客户位于深圳，为国家重点实验室，客户以重大基础设施为支撑，以重大攻关项目为核心，探索出“重点项目+基础研究”双轮驱动的特色科研模式；积极推进合作共建与资源共享，构建产学研用金协同创新体系，与全国150余家高校、科研机构开展深度合作；与北京大学、清华大学等高校执行联合培养博士生的国家专项计划，开创了兼具各校特色的博士生培养新路径和“书院制”育人新模式。客户采购Lazin LODAS BI8主要用于用于检测 8 英寸晶圆表面的颗粒以及缺陷 （包括表面的创伤，洞坑缺陷，内部气泡以及冲洗痕迹，水迹缺陷等）， 颗粒感度大于等于 100nm，缺陷查出后，可输出缺陷的分布图及相关的统计数据，可用高倍显像镜进行针对性观察。
本设备的检查对象是光罩用石英基板、匀胶铬版、以及各种晶圆表面缺陥。
本设备以波长 405nm、250mW 输出的激光为电源，使用多面反射镜在 Y 方向扫描光束，通过移动平台在 X 方向扫描，来进行光掩模板或空白面的全面检查。异物检测是通过光电倍增管捕获散射光和光电二极管捕获共焦光来执行的，并且可以根据信号强度预测其大小。检查结果可以用附带的显微镜查看，长度测量工具可以测量缺陷的大小。检查结果，在检测图显示的同时坐标等各种信息以特殊格式保存，并且包含检查后重新调整检测灵敏度、重新显示地图等功能。作为可选功能，还有缺陷附近的标记功能。
