当前位置:首页 > 技术文章
作为先进的纳米压印设备,EVG7300紫外光纳米压印机凭借其300毫米晶圆处理能力、300纳米级对准精度及模块化设计,成为半导体、光学元件及生物医疗领域的关键制造工具。本文从设备结构、操作流程、关键参数调控及维护要点四方面,解析其高效使用的...
白光干涉是一种常用的光学测量方法,其中干涉仪是用于检测光波干涉的仪器。白光干涉仪是一种基于干涉仪原理的仪器,其工作原理和特点在以下几方面进行了详细阐述。它的工作原理:白光干涉仪利用光波的干涉现象来进行光学测量。仪器中,将白色光源分成两个平行光束,由反射镜反射后再次汇聚成一束光。这束光照在了一个透明的薄膜上,透过薄膜的光波因路程不同而产生了相位差,再次汇聚到第二个反射镜上。第二个反射镜将光束反射回来,当两束光波再次汇聚时,产生干涉现象。这种干涉现象是由于两束光波的波长相同但相位...
等离子清洗是等离子表面改性的其中较为常见的一种方式。等离子清洗的作用主要是:(1)对材料表面的刻蚀作用--物理作用等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子,作用到固体样品表面,不但清除了表面原有的污染物和杂质,而且会产生刻蚀作用,将样品表面变粗糙,形成许多微细坑洼,增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。(2)激活键能,交联作用等离子体中的粒子能量在0~20eV,而聚合物中大部分的键能在0~10eV,因此等离子体作用到固体表面后,可以将固体表面的原有的化学键...
应力测量仪是一种非常重要的仪器设备,广泛应用于各个行业中的检测、测量、测试等工作中。它的原理和特点极其受到人们的关注,接下来我们来仔细解析一下。1.原理:本仪器的原理主要是基于引伸计原理,即用金属的弹性变形作为测量物理量的基础。当受到外力作用时,金属材料会产生弹性变形,这种变形与外力大小和材料的性质有关。通过将应变信号转换为电信号,利用电路将电信号放大一定倍数以后测量读数,即可得到材料受力情况的数据。不同类型的应力测量仪,其原理会有所不同。2.特点:(1)精度高:由于应力测量...
光刻技术与我们的生活息息相关,我们用的手机,电脑等各种各样的电子产品,里面的芯片制作离不开光科技束。如今的世界是一个信息社会,各种各样的信息流在世界流动。而光刻机是保证制造承载信息的载体。在社会上拥有不可替代的作用。掩模对准光刻机系统增加了对准精度,该系列包括了光刻机、W2W接合曝光和对准检测设备。1、光刻机:分别可以处理从小于5mm到150mm和从3英寸到200mm衬底-拥有一系列先进的功能和特点,包括一个花岗岩基座、主动式隔振装置和线性马达,以达到更高的精度和生产量要求。...
近几十年来,随着微电子技术的发展,高性能、小外形、低成本的电子产品已成为市场的基本需求。集成电路上可容纳元器件的数目是符合摩尔定律预测的。但是近年来传统的集成电路增长趋势开始和摩尔定律的理想模型出现了差别。随着手机和各种电子产品的快速发展,芯片的功能也越来越复杂,芯片上集成晶体管的数目也随着越来越多,同时也引起了集成电路体积的增大和功耗增高。当晶体管的栅极长度和氧化层厚度都接近物理极限的时候,二维集成最终将走到道路的尽头。遵循摩尔定律的三维集成技术可以作为解决上述问题的方案。...