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FilmSense 椭偏仪不得不说的优点!

发布时间:2020-10-26浏览:121次
FilmSense FS-1多波长椭偏仪使用长寿命LED光源设计,使用寿命大于5000小时,同时FS-1的设计结构没有转动部件以确保设备的稳定性。总的来讲,FS-1是一台简单易用的紧凑型设计的椭偏仪但它能提供快速、可靠的薄膜测量。

FilmSense 椭偏仪的优点:

1、没有复杂的软件设置和维护。

2、测量精度只有用椭偏仪才能达到。

3、快速多次测量(多波长数据在10毫秒)且长期可靠性。

4、长寿命(>50000小时),不用频繁更换昂贵的灯泡,或定时校正或周期维护。

5、椭偏仪对薄膜Δ参数相位差极其敏感,能够准确的测量薄膜厚度低至0Å。


6、椭偏仪是测量比率,所以它对光束强度的变化,或样品的缺陷引起散射光不敏感的。


7、椭偏仪在每个波长测量2个量(Ψ and Δ),可以确定2个定量比如薄膜厚度,以及光学常数或基底的折射系数和消光系数。

FilmSense 椭偏仪
的应用:

1、FS -1可用于实验室研究,教学,在线制程监控,工业品质控制等应用。


2、半导体行业:硅的氧化物和氮化物,高和低k介质、多晶和非晶硅薄膜,光刻胶。


3、光学涂覆工业:高、低折射率薄膜如SiO2,TiO2,Ta2O5,MgF2,等。


4、显示行业:导电层(如ITO),非晶硅薄膜、有机薄膜(OLED技术)。


5、数据存储产业:类金刚石薄膜。


6、R&D 工序:薄膜沉积的原位表征(速率和光学常数)对应工艺条件的变化值,适用于MBE、MOCVD、ALD、溅射等。


7、化学和生物:亚-单层材料吸附液体中的细胞实验检测。


8、工业:在线监测和控制薄膜的厚度。