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翘曲度测量仪的功能优点体现在哪里

发布时间:2020-11-02浏览:73次

美国FSM成立于1988年,总部位于圣何塞,多年来为半导体行业等高新行业提供各式精密的测量设备。

美国FSM高温薄膜应力及翘曲度测量仪特殊功能优点:

1、完全封闭的设计,温度更稳定。

2、特殊的设计使震动偏移降到较低。


3、图形式使用界面更容易使用。


4、当改变弹性模数,晶圆或薄膜厚度设备会自动重新计算应力保存数据文档。


5、可以计算双轴弹性模量和线膨胀系数。


6、可以计算应力的均匀性。


7、可以输出数据到Excel ,提供给SPC 分析。


8、多重导向销设计,手动装载样品,有优异的重复性与再现性研究。


9、优异的分辨率测量0.2um弓形高度变化超过 20M 的平镜(大约 0.8%)


10、FSM高温薄膜应力及翘曲度测量仪全3D测绘的手动旋转平台。


11、测量局部应力测量42 点/mm 并大于8400 点/200mm晶圆。这种测量密度获得更好的信号噪声比。