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FSM413红外激光测厚仪的相关知识普及

发布时间:2020-11-05浏览:87次

FSM413红外激光测厚仪产品简介:

1、利红外干涉测量技术,非接触式测量。


2、适用于所有可让红外线通过的材料硅、蓝宝石、砷化镓、磷化铟、碳化硅、玻璃、石 英、聚合物…

FSM413红外激光测厚仪规格:

1、测量方式
红外干涉(非接触式)。

2、样本尺寸:50、75、100、200、300 mm, 也可以订做客户需要的产品尺寸。


3、测量厚度
15—780μm (单探头);3 mm (双探头总厚度测量)。

4、扫瞄方式
半自动及全自动型号;另2D/3D扫瞄(Mapping)可选。

5、衬底厚度测量
TTV、平均值、小值、大值、公差。

6、粗糙度
20—1000Å (RMS)。

7、重复性
0.1μm (1 sigma)单探头*;0.8 μm (1 sigma)双探头*。

8、分辨率
10 nm。

9、设备尺寸
413-200: 26”(W) x 38” (D) x 56” (H);413-300: 32”(W) x 46” (D) x 66” (H) 。

10、重量
500 lbs。

11、电源
110V/220VAC。

12、真空
100 mm Hg。

13、样本表面光滑(一般粗糙度小于0.1μm RMS);
150μm厚硅片(没图案、双面抛光并没有掺杂)。