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想知道光学膜厚仪在行业中都有哪些经典应用吗?

发布时间:2020-11-23浏览:90次
  光学膜厚仪是利用薄膜干涉光学原理,对薄膜进行厚度测量及分析。用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源照射薄膜表面,探头同位接收反射光线。光学膜厚仪根据反射回来的干涉光,用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度。测量范围1nm-3mm,可同时完成多层膜厚的测试。对于100nm以上的薄膜,还可以测量n和k值。

  应用领域:
  半导体制造业,光刻胶、氧化物、硅或其他半导体膜层的厚度测量;
  生物医学原件:聚合物/聚对二甲苯;生物膜/球囊壁厚度;植入药物涂层;
  微电子:光刻胶;硅膜;氮化铝/氧化锌薄膜滤镜;
  液晶显示器:盒厚;聚酰亚胺;导电透明膜;
  由于是光学测量,在测量时候无须担心破坏样品,让用户简单快速地测量薄膜的厚度和光学常数,通过对待测膜层的上下界面间反射光谱的分析,几秒钟内就可测量结果。
 
  光学膜厚仪的优点:
  1、非接触式测量:光学膜厚仪采用的原理是通过光的反射原理对膜层厚度进行测量,属于非接触式测量方法,不会对样品造成任何损伤,能够保证样品的完整性。
  2、测量数据多样:可以测得物体的膜厚度和n,k数据,这是其它类型的膜厚仪所不具备的特点。
  3、测量快速:光学膜厚仪的测量过程非常快速,因为该设备采用了先进的结构设计,能够ji大程度的提升测量效率,相比于其他类型膜厚测量设备来说显得非常轻巧方便。
  4、适用范围广:光学膜厚仪的适用范围非常广泛,从普通家用到工厂的工业生产,再到大学实验室和科学研究所,都可以看到它的身影,由此可见它的使用范围极其广泛,能够作业的场合也变得更加多样化。