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椭偏仪的原理和特点介绍

发表时间:2021-10-19  |  点击率:169
椭偏仪/椭圆偏振仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。现在已被广泛应用于材料、物理、化学、生物、医药等领域的研究、开发和制造过程中。
 
基本原理:
 
椭偏仪利用偏振光测量薄膜或界面参量,通过测量被测样品反射(或透射)光线偏振状态的变化来获得样品参量。
 
椭偏法测量具有如下特点:
 
1.能测量很薄的膜(1nm),且精度很高,比干涉法高1-2个数量级。
2.是一种无损测量,不必特别制备样品,也不损坏样品,比其它精密方法:如称重法、定量化学分析法简便。
3.可同时测量膜的厚度、折射率以及吸收系数。因此可以作为分析工具使用。
4.对一些表面结构、表面过程和表面反应相当敏感。是研究表面物理的一种方法。