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美国FSM高温薄膜应力及翘曲度测量仪具有哪些特殊功能?

发表时间:2021-11-06  |  点击率:64
翘曲度,用于表述平面在空间中的弯曲程度,在数值上被定义为翘曲平面在高度方向上距离最远的两点间的距离。绝对平面的翘曲度为0。翘曲变形是评定产品质量的重要指标之一。对于相同翘曲影响模式的同一产品时,这些指标可以描述不同设计的翘曲变形的大小程度。但对于不同材料、模具结构等造成翘曲变形的影响模式改变的因素,不同设计下各部分的翘曲变形严重程度也随之改变。
 
美国FSM高温薄膜应力及翘曲度测量仪具有哪些特殊功能?
 
1、多重导向销设计,手动装载样品,有优异的重复性与再现性研究。
 
2、优异的分辨率——测量0.2um弓形高度变化超过 20M 的平镜(大约 0.8%)
 
3、全3D测绘的手动旋转平台。
 
4、测量局部应力---测量42 点/mm 并大于8400 点/200mm晶圆。这种测量密度获得更好的信号噪声比。
 
5、完全封闭的设计,温度更稳定。
 
6、特殊的设计使震动偏移降到zui低。
 
7、图形式使用界面更容易使用。
 
8、当改变弹性模数,晶圆或薄膜厚度设备会自动重新计算应力保存数据文档。
 
9、可以计算双轴弹性模量和线膨胀系数。
 
10、可以计算应力的均匀性。
 
11、可以输出数据到Excel ,提供给SPC 分析