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白光干涉仪主要是由以下这些部分构成的

发表时间:2022-04-13  |  点击率:54
  白光干涉仪能够在同一测试平台上运行多种测试,产品的组合可根据不同的技术应用要求而改变。针对样品的同一区域可进行不同模式的实验检测,模式切换可实现全自动化。多项技术的整合能够使不同技术在同一检测仪上充分发挥各自的优势。该项整合技术不仅有利于数据的综合分析,也可以减少维护成本,从而提高效率。
 

 

  白光干涉仪的测量应用:
  以测量单刻线台阶为倒,在检查仪器的各线路接头都准确插到对应插孔后,开启仪器电源开关,启动计算机,将单刻线台阶工件放置在载物台中间位置,先手动调整载物台大概位置,对准白光干涉仪目镜的下方。
  在计算机上打开白光干涉仪测量软件,在软件界面上设置好目镜下行的最小点,再微调镜头与被测单刻线台阶表面的距离,调整到计算机屏幕上可以看到两到三条干涉条纹为佳,此时设置好要扫描的距离。按开始按钮,白光干涉仪可自动进行扫描测量,测量完成后,转件自动生成3D图像,测量人员可以对3D图像进行数据分析,获得被测器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、3D参数。
  白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能全面、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精密器件的过程用时2分钟以内,确保了高款率检测。白光干涉仪特有的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。
 
  白光干涉仪由以下及部分构成:
  光学照明系统 ,采用卤素光源,其中心波长为576纳米,光谱范围从340纳米到780纳米。光学成像系统 采用无限远光学成像系统,由显微物镜和成像目镜组成。垂直扫描控制系统 由压电陶瓷以及控制驱动器构成,采用闭环反馈控制方法,可精密驱动显微物镜上下移动,移动范围100mm。位置移动精度为0.1纳米。信号处理系统 信号处理系统是该仪器的核心部分,由计算机和数字信号协处理器构成。利用计算机采集一系列原始图像数据。然后使用专用的数字信号协处理器完成数据解析作业。应用软件 应用软件主要由操作控制部分,结果显示部分以及后处理部分组成。主要用于操作控制表面形状测量仪器。同时,以三维立体,二维平面以及断面分布曲线方式显示实时测量结果。并可对测量结果作进一步的修正处理。