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白光干涉仪具有测量准确度高等诸多优势

发表时间:2022-05-19  |  点击率:50
  白光干涉仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
 
  白光干涉仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
 
  目前仪器可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
 
  产品优势:
  1、美国硅谷研发的核心技术和系统软件。
  2、关键硬件采用美国、德国、日本等。
  3、PI纳米移动平台及控制系统。
  4、Nikon干涉物镜。
  5、NI信号控制板和Labview64 控制软件。
  6、TMC光学隔振台。
  7、测量准确度重复性达到不错的水平。