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你真的了解多波段椭偏仪吗?它的光谱范围是多少?

发表时间:2022-08-19  |  点击率:200
  近年来,随着仪器行业的不断发展,多波段椭偏仪在市场上得到了快速地发展。由于其突出的表现,受到了广泛用户的青睐。目前本产品可以广泛地应用于半导体、通讯、数据存储、光学镀膜等领域中,下面我们就来具体的了解一下这款仪器!
 

 

  它的光谱范围:
  最初,多波段椭偏仪的工作波长多为单一波长或少数独立的波长,较典型的是采用激光或对电弧等强光谱光进行滤光产生的单色光源。大多数的椭偏仪在很宽的波长范围内以多波段工作。它和单波段的椭偏仪相比,多波段椭偏仪可以提升多层探测能力,可以测试物质对不同波长光波的折射率等。
  多波段椭偏仪的光谱范围在深紫外的142nm到红外33um可选。光谱范围的选择取决于被测材料的属性、薄膜厚度及关心的光谱段等因素。例如,掺杂浓度对材料红外光学属性有很大的影响,因此需要能测量红外波段的多波段椭偏仪;薄膜的厚度测量需要光能穿透这薄膜,到达基底,然后并被探测器检测到,因此需要选用该待测材料透明或部分透明的光谱段;对于厚的薄膜选取长波长更有利于测量。
 
  它的应用领域:
  目前,多波段椭偏仪可应用于半导体、微电子、MEMS、通讯、数据存储、光学镀膜、平板显示器、科学研究、物理、化学、生物、医药…等众多领域中;同时,本仪器还可以检测介电材料、有机高分子聚合物、金属氧化物、金属钝化膜、自组装单分子层、多层膜物质和石墨烯等众多材料。
 

 

  多波段椭偏仪有如下特点:
  1.对材料的光学常数的测量更精确:这是由激光的窄带单色性质决定的,激光带宽通常远小于1nm,因此能够更准确地获得激光波长下的材料的材料参数。
  2.可对动态过程进行快速测量:激光良好的方向性使得其强度非常高,因此非常适合对动态过程的实时测量。