欢迎来到岱美仪器技术服务(上海)有限公司网站!
咨询热线

4008529632

当前位置:首页  >  技术文章  >  显微镜LED曝光单元

显微镜LED曝光单元

发表时间:2022-10-19  |  点击率:177

显微镜秒变光刻机!-- 微镜LED曝光单元


电子显微镜和光刻机,两个看上去风马牛不相及的东西,是如何结合到一起的?我们向您介绍一款无掩膜显微镜LED曝光单元UTA-3A-53M,能令显微镜秒变光刻机!

图片5.png

该设备是一种具有高性价比的曝光装置,其DLP固定在显微镜的三目镜部分,而照相机则固定在目镜部分。可以将专用程序产生的图案投影并在显微镜下曝光在样品上。

<特征> 

• 显微镜LED曝光单元UTA系列是用于光刻的无掩模图案投影曝光设备。 

• 使用金属显微镜和LED光源DLP投影仪,将分辨率为几μm的任意图案投影到涂有光刻胶的基板上进行曝光。您可以在计算机上自由创建图案。 

• 与电子束光刻相比,它更便宜,更容易,因为可以在空气中在各种大小和形状的分层材料单晶薄片上形成电极。 不需要制造昂贵的电极图案掩模。 

• 简单易懂专用软件,可以轻松创建图案

• 通过物镜倍率,可以从精细图案到进行大范围的批量曝光

• 也可以安装到现有的显微镜上(显微镜的规格另需确认)

曝光范围:物镜5X:約1.16×0.72mm / 物镜100X:約60×35μm


通过标配以下5种画图工具,画任意图案进行曝光

                 直线          矩形                   多边形                                             同心圆


图片6.png


或者通过读取外部软件画好的图案进行曝光(分辨率1280*800,BMP格式,黑白)

图片7.png

应用 

Ø 薄膜FET的电极形成和空穴效应测量样品 

Ø 从原石的石墨烯钼中取出剥离的(薄)片,用于评估石特性的电极形成 

Ø 用于研发应用的图案形成 

Ø 光器件,微流控,微电子

image.png

☆曝光前可以测试投影(因为是红光,不会感光)

image.png


☆用白光曝光(曝光时间可以设置