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光学轮廓仪-岱美百科

更新时间:2023-03-16  |  点击率:2036
  光学轮廓仪是一种全自动测量设备。操作员只需安装被测工件,在验证软件上设置扫描的开始和结束位置,点击“开始”按钮,测量针就会自动接触工件表面并根据设置的位置进行扫描;在轮廓扫描过程中,软件界面会实时绘制轮廓曲线;扫描后,操作员可以通过轮廓分析工具分析生成的轮廓曲线,以获得直线度、圆度、角度、距离、间距等轮廓参数。
 

 

  光学轮廓仪应该怎么用
  轮廓仪建立在移相干涉测量(PSI)、白光垂直扫描干涉测量(VSI)和单色光垂直扫描干涉测量(CSI)等技术的基础上,以其纳米级测量准确度和重复性(稳定性)定量地反映出被测件的表面粗糙度、表面轮廓、台阶高度、关键部位的尺寸及其形貌特征等。广泛应用于集成电路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技术、材料、太阳能电池技术等领域。
 
  轮廓仪的优势:
  1、美国硅谷研发的合心技术和系统软件;
  2、关键硬件采用美国、德国、日本等品牌;
  3、PI纳米移动平台及控制系统;
  4、Nikon干涉物镜;
  5、NI信号控制板和Labview64 控制软件;
  6、TMC光学隔振台;
  7、测量准确度重复性达到先进水平。