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纳米压印光刻技术是如何应用在生物领域中的?

发表时间:2022-12-24  |  点击率:72
  在过去的几十年中,生物技术设备的小型化极大地改善了临床诊断,药物研究和分析化学。现代生物技术设备,例如用于诊断,细胞分析和药物发现的生物医学MEMS,通常是基于芯片的,并且依赖于微米级和纳米级生物物质的紧密相互作用。根据市场研究报告,越来越多的医疗保健应用正在使用bioMEMS组件。受诸如即时点测试,临床和兽医诊断等应用的推动,到2021年,已占生物MEMS市场总量的86%。
 
  NIL纳米压印光刻技术已从利基技术演变为强大的大批量制造方法,该方法可通过将印迹或生物印迹到生物相容性上,从而大规模生产多种不同大小和形状的结构,例如高度复杂的微流体通道和表面图案抵抗或直接进入散装材料。除了结构技术外,密封和封装是建立受限微流体通道的核心过程。因此,不同器件层,覆盖层或互连层的键合是关键过程,可以与NIL一起以经济高效的大面积批量过程实现。作为NIL和晶圆键合的先驱以及市场和技术先进者,
 
  EVG的NIL纳米压印光刻技术解决方案可以在生物技术应用中使用的各种基板材料上制造各种小型结构,包括玻璃,硅和多种聚合物。每个EVG NIL解决方案都特有地适合于不同的生产应用。例如,热压花可精确刻印较大的结构以及微结构和纳米结构的组合,并且在复制高纵横比的特征或使用非常薄的基板时非常出色。UV-NIL可在纳米范围内提供较高的精度,图案逼真度和产量。微接触印刷是另一种NIL选项,可以将诸如生物分子之类的材料以特有的图案转移到基材上。
 
  凭借其成熟的晶圆级键合设备,EVG还可以提供与NIL纳米压印光刻结构技术匹配的密封和键合工艺。提供各种不同的键合选项,从先进的室温键合技术到等离子活化键合以及高质量的气密密封和真空封装。典型解决方案的示例包括用于玻璃和聚合物基板的EVG热粘合设备,该设备通过在大面积上实现高压和温度均匀性而提供出色的结果。EVG还提供了其室温选择性粘合剂转移技术,该技术可在封装设备之前简化生物分子的掺入。