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EVG推出全新突破速度和精度极限的掩模对准光刻机

更新时间:2023-04-12  |  点击率:1644

     相较上一代平台,全新自动掩模对准系统(IQ Aligner NT)产出率和对准精度提升两倍,为 EVG 光刻解决方案带来了全新应用微机电系统(MEMS)、纳米技术以及半导体市场晶圆键合和光刻设备LING XIAN供应商EVG集团(EVG)近日宣布推出IQ Aligner NT,旨在针对大容量XIAN JIN封装应用推出的全新自动掩模对准系统。IQ Aligner NT光刻机配备了高强度和高均匀度曝光镜头、全新晶圆处理硬件、支持全局多点对准的全 200 毫米和全300毫米晶圆覆盖、以及优化的工具软件。与EVG此前推出的IQ Aligner光刻机相比,产出率和对准精度都提升了两倍。这套系统ZUI DA CHENG DU地满足了对后端光刻最严苛的要求,成本相较竞争者降低30%

      该款IQ Aligner光刻机支持多种先进封装类型,包括晶圆级芯片尺寸封装(WLCSP)、扇出晶圆级封装(FOWLP)、三维集成电路/硅穿孔(TSV)、2.5D中介层以及倒装芯片。

      最新光刻技术要求

      高级半导体封装技术正在不断发展演变,包括增加器件功能和降低每单元功能成本,以便支持全新的器件类型。为促进光刻技术的发展,需满足对先进封装市场的du te要求:

       · 严密的对准精度

       · 管理调整圆晶片的翘曲和解决晶片和掩模版图尺寸不匹配实现优化覆盖的能力

       · 对后端加工过程中发现的厚层抗蚀剂和介电层进行充分曝光的能力

       · 为解决由于设备缩放而导致的收缩凸起和互连所需的更高分辨率

       · 满足以上要求的同时,业界需要一个具有高成本效益和生产率的光刻工具平台

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      EVG IQ Aligner NT——全新自动掩模对准系统,产出率和对准精度提升两倍,为 EVG 光刻解决方案带来了全新应用

      EVG执行技术总监Paul Lindner表示:“EVG凭借超过 30 年的光刻技术经验,推出全新IQ Aligner NT,突破了掩模对准技术的极限。作为光刻解决方案产品组合的最新成员,这套系统的产出率、精度以及性价比都达到了QIAN SUO WEI YOU的高度,为 EVG 打开了全新的市场机遇。我们期待与客户紧密合作,全力满足他们对先进封装光刻技术的需求。"

      IQ Aligner NT通过改良先进封装光刻技术,将掩模对准性能提升至业界LING XIAN水平:

       · EVG此前推出的IQ Aligner光刻机相比,高功率镜头照明强度提升3倍,特别适合对与加工凸点、凸块以及其他陡峭斜面特征有关的厚层抗蚀剂和其他薄膜进行曝光

       · 300 毫米基板上进行全亮场掩模运动,在暗场掩模对准和图案定位方面提供了ZUI GAO的工艺兼容性和灵活性

       · 双基板尺寸理念无需进行任何工具更换,为两种不同的晶元尺寸提供了快速方便的桥式工具

       · 支持全自动以及半自动/手动晶圆装载操作,实现灵活性ZUI DA 化

       · 基于最新制造软件标准和协议的最新 EVG “CIMF框架"系统软件

      ZHUO YUE的对准精度和产出率

      结合最XIAN JIN的光学和机械工程与优化的工具软件,IQ Aligner NT的产出率增加了两倍(相较SHOU次曝光> 200wph,相较顶侧对准> 160wph,对准精度提升了两倍(250nm 3-sigma)。通过更严格和精准的规范,能够帮助客户提高GAO DUAN和高带宽封装产品的产量。

      另外,EVG将与SEMICON China合作,并于314日在上海浦东嘉里大酒店举办EVG中国技术日。来自EVGSMIC和市场研究公司Yole Development的嘉宾将就先进封装市场的发展、EVG最新解决方案以及技术使用案例进行演讲。

     

      关于EV集团(EVG)和岱美仪器技术服务有限公司

      EVG集团(EVG)是半导体制造、微机电系统(MEMS)、化合物半导体、电源器件、纳米技术设备领域中LING XIAN的设备及工艺解决方案供应商。主要产品包括:晶圆键合、薄晶圆加工、光刻/纳米压印(NIL)和计量(测量)设备,同时也生产涂胶机、清洗机和检查设备。EVG集团成立于1980年,为遍布世界各地的全球客户和合作伙伴网络,提供服务与支持。岱美仪器作为EVG中国区的代理商,为本地用户提供便捷的服务。