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300mm纳米压印技术用于大批量增强/混合现实玻璃制造

更新时间:2023-05-29  |  点击率:742

面向MEMS、纳米技术和半导体市场的晶圆键合与光刻设备(含纳米压印设备)的领仙供应商 EVG宣布,与特种玻璃和微晶玻璃领域的世界领仙技术集团SCHOTT合作,证明300毫米(12英寸)纳米压印光刻技术(NIL)在下一代增强/混合现实(AR/MR)头戴设备耳机的波导/光导制造中使用的高折射率(HRI)玻璃晶圆的大批量图案化已准备就绪。


此次合作涉及EVG专有的SmartNIL ®工艺和SCHOTT RealView™高折射率玻璃晶圆,将在EVG位于奥地利总部的NILPhotonics®能力中心进行。SCHOTT将于9月4日至7日在深圳会展中心举行的中国国际光电博览会上展示一款采用EVG SmartNIL技术制成图案的300毫米SCHOTT RealView™玻璃晶圆。


SCHOTT增强现实技术负责人Ruediger Sprengard博士表示:“将高折射率玻璃晶圆的制造扩展到 300 毫米,对于实现规模经济至关重要,我们的客户需要满足当今和未来领仙的AR / MR设备不断增长的市场需求。"通过双方的共同努力,EVG和SCHOTT展示了300毫米HRI玻璃制造所需的设备和供应链准备情况。"

     

到目前为止,使用纳米压印技术对具有光子学应用结构的玻璃基板进行图案化处理仅限于200毫米基板。向300毫米晶圆加工的过渡是AR / MR头戴设备耳机进入大众消费市场和工业市场的重要一步。然而,在这些较大的基板上保持基板的高质量和工艺均匀性是很难控制的事情,需要先进的自动化和工艺控制能力。EVG的SmartNIL技术是多年研究、开发和实验的结晶,旨在满足纳米图案化的需求,并已被实践证明可轻松从芯片级样品尺寸一直扩展到大面积基板。今年6月,EVG推出了HERCULES NIL 300 mm,将SmartNIL引入300毫米制造领域,支持各种器件和应用的生产需求,包括用于AR、MR和虚拟现实(VR)耳机头戴设备的光学器件,以及3D传感器、生物医疗器件、纳米光子学和等离子体。


“EVG的NILPhotonics能力中心成立于2014年,为NIL供应链中的各种合作伙伴和公司提供了一个开放式创新孵化器,从而缩短创新型光子器件和应用的开发周期和上市时间,“ EVG企业技术开发和知识产权总监Markus Wimplinger表示,“我们很高兴与SCHOTT公司合作,展示EVG纳米压印解决方案的价值,不仅可以促进新技术和新工艺的开发,还可以加快其进入大众市场的速度。我们与SCHOTT合作开展的工作证明了纳米压印设备和工艺的成熟度,并为各种令人兴奋的基于光子学的新产品和应用的300毫米制造奠定了基础。"


SCHOTT RealView™高折射率玻璃晶圆是领仙的AR / MR器件的关键组件,已经实现了批量生产。产品组合提供了高达1.9的折射率,支持深度沉浸式AR / MR应用,视野更加宽广,可达65度。在与AR硬件制造商合作研发多年后,SCHOTT于2018年推出了第一代SCHOTT RealView™。上市仅一年,这款产品就荣获了久负盛名的2019年SID显示行业大奖(SID Display Industry Award 2019)。

     

关于SCHOTT

SCHOTT是特种玻璃、微晶玻璃和相关高科技材料领域的国际领仙技术集团。公司拥有130多年的经验,是众多行业的创新合作伙伴,其中包括家用电器、制药、电子、光学、生命科学、汽车和航空业。SCHOTT在全球34个国家设有生产基地和销售办事处。集团目前拥有员工超过15,500名,2017/2018财年的销售额为20.8亿欧元。总部位于德国美因茨的母公司SCHOTT AG,由卡尔蔡司基金会(Carl Zeiss Foundation)全资拥有。卡尔蔡司基金会是德国历史最悠久的私立基金会之一,作为一家基金会公司,SCHOTT对员工、社会和环境负有特殊责任。


关于EVG

EV Group (EVG) 是为半导体、微机电系统 (MEMS)、化合物半导体、功率器件和纳米器件制造提供大批量生产设备和工艺解决方案的领仙供应商。主要产品包括晶圆键合、薄晶圆加工和光刻/光刻纳米压印 (NIL) 设备,光刻胶涂布机,以及清洁和检测/计量系统。EVG 成立于 1980 年,为全球各地的客户和合作伙伴提供服务和支持。