主动减震台作为精密仪器（如扫描电子显微镜、原子力显微镜）的核心支撑设备，通过实时监测与动态补偿技术，可有效隔离地面振动（频率范围0.5-200Hz），将振动干扰降低至微米级甚至纳米级。其安装质量直接影响减震效果与仪器稳定性，以下为分步安装指南。
一、安装前准备：环境与设备双维度校验
1.场地条件评估
①地基要求：选择钢筋混凝土结构地面，承载力≥500kg/m2，避免安装于地下室或靠近电梯井的位置。
②环境控制：确保室温恒定（20±2℃）、湿度≤60%，远离空调出风口与强电磁设备（如变压器）。
2.设备开箱检查：核对主动减震台型号、传感器、控制器及配件清单，检查台面平整度（误差≤0.05mm/m），测试气浮模块（若配备）的密封性。
3.工具与辅助材料：准备激光水平仪、扭矩扳手、防静电手环、M8-M12膨胀螺栓及高强度螺纹胶，确保安装过程无尘化操作。
二、安装步骤：从定位到调试的精细化操作
1.基础定位与固定
①使用激光水平仪划定安装基准线，将减震台框架放置于预设位置，通过地脚螺栓初步固定。
②调整框架水平度至≤0.02mm/m，锁紧螺母后二次复测，防止后续沉降。
2.气路与电路连接
①气源接入：连接干燥洁净的压缩空气（压力0.4-0.6MPa），安装三联件（过滤器、减压阀、油雾器）并设置压力表至0.5MPa。
②电气布线：将传感器信号线与控制器端子对应连接，注意屏蔽层接地，避免电磁干扰。
3.负载安装与校准：
①缓慢放置精密仪器至主动减震台中心，使用动态称重仪测量实际负载，确保不超过额定载荷。
②启动控制器自校准程序，输入负载参数，完成初始刚度与阻尼系数匹配。
三、性能调试与验收
1.振动隔离测试
①使用加速度传感器测量台面振动，对比安装前后数据（目标：垂直方向振动≤0.5μm/s2@10Hz）。
②通过控制器调整PID参数，优化响应速度（通常＜50ms）与补偿精度。
2.长期稳定性监测：连续运行72小时，记录温度漂移（≤0.1℃/h）与气压波动对减震效果的影响，必要时增设环境补偿模块。
3.安全防护设置：安装过载报警装置与急停按钮，设置台面倾斜度阈值（±1°），防止仪器倾覆。
四、维护要点：延长设备寿命的关键措施
1.定期检查：每月检测气路密封性，每季度校准传感器灵敏度；
2.清洁保养：使用无尘布擦拭台面，避免化学试剂腐蚀；
3.数据备份：定期导出控制器参数，防止意外丢失。
通过标准化安装流程，主动减震台可实现95%以上的振动抑制率，为精密仪器提供稳定的微环境。操作人员需严格遵循厂商指南，并结合实际工况动态优化，确保设备长期高效运行。
