动态激光干涉仪作为现代精密测量领域的仪器，其核心技术体系融合了光学、电子学和计算机科学的创新成果。该系统通过激光干涉原理实现纳米级动态测量，在半导体制造、精密光学和超精密加工等领域具有不可替代的作用。
一、核心测量原理
基于逊干涉仪的光路架构，采用频率稳定的氦氖激光源（波长632.8nm），通过分束镜产生参考光和测量光。当测量光经运动目标反射后与参考光干涉，形成的明暗条纹变化被高灵敏度光电探测器捕获。位移量计算公式为：
ΔL=N×λ/2
其中N为条纹计数，λ为激光波长。采用四象限探测器配合电子细分技术，可实现λ/1024的分辨率（约0.6nm）。
二、关键技术突破
环境补偿系统：集成空气折射率实时监测模块，通过Edlen公式修正温度（±0.1℃）、气压（±1mbar）和湿度（±5%RH）变化带来的误差，将大气影响降至0.1ppm以下。
动态跟踪技术：
采用声光调制器（AOM）实现200kHz以上的多普勒频移跟踪
数字锁相环（PLL）技术确保在5m/s高速运动下仍保持纳米级精度
抗振设计：
主动隔振平台（6自由度）隔离1Hz以上振动
光学相位锁定技术补偿低频振动扰动
三、典型应用表现
在光刻机工件台测量中，可实现：
测量范围：2m行程
动态精度：±1nm（静态±0.3nm）
速度适应性：0-2m/s连续测量
采样率：10MHz（通过FPGA实时处理）
四、技术发展趋势
新一代系统正融合：
飞秒光频梳技术，实现绝对距离测量
量子点探测器提升信噪比（＞90dB）
AI算法实时补偿非线性误差
该技术使300mm硅片曝光定位误差控制在2nm以内，支撑了7nm以下制程工艺的发展。最新研究显示，通过量子纠缠光源的应用，有望突破海森堡极限，实现亚纳米级动态测量。
