欢迎光临岱美仪器技术服务(上海)有限公司网站!
咨询热线
13917837832
NEWS/ 公司新闻
首页  >  公司新闻  >  细说光学膜厚仪的应用、优点以及使用注意事项

细说光学膜厚仪的应用、优点以及使用注意事项

发布时间:2021-05-26浏览:120次
  光学膜厚仪是一种非接触式测量仪器,一般会运用在生产厂商大量生产产品的过程,由于误差经常会导致产品全部报废,这时候就需要运用光学膜厚仪来介入到生产环境,避免这种情况的发生。
  
  典型应用领域:
  半导体制造业,光刻胶、氧化物、硅或其他半导体膜层的厚度测量;
  生物医学原件:聚合物/聚对二甲苯;生物膜/球囊壁厚度;植入药物涂层;
  微电子:光刻胶;硅膜;氮化铝/氧化锌薄膜滤镜;
  液晶显示器:盒厚;聚酰亚胺;导电透明膜。
 
  仪器的使用优点:
  1、测量数据多样:可以测得物体的膜厚度和n,k数据,这是其它类型的膜厚仪所不具备的特点;
  2、测量快速:光学膜厚仪的测量过程非常快速,因为该设备采用了先进的结构设计,能够极大程度的提升测量效率,相比于其他类型膜厚测量设备来说显得非常轻巧方便;
  3、非接触式测量:光学膜厚仪采用的原理是通过光的反射原理对膜层厚度进行测量,属于非接触式测量方法,不会对样品造成任何损伤,能够保证样品的完整性;
  4、适用范围广:光学膜厚仪的适用范围非常广泛,从普通家用到工厂的工业生产,再到大学实验室和科学研究所,都可以看到它的身影,由此可见它的使用范围极其广泛,能够作业的场合也变得更加多样化。
 
  光学膜厚仪的使用注意事项:
  1、零点校准:在每次使用膜厚仪之前需要进行光学校准,因为之前的测量参数会影响该次对物体的测量,零点校准可以消除前次测量有参数的影响,能够降低测量的结果的误差,使测量结果更加精确。
  2、基体厚度不宜过薄:在使用光学膜厚仪对物体进行测量时基体不宜过薄,否则会极大程度的影响仪器的测量精度,造成数据结果不准确,影响测量过程的正常进行。
  3、物体表面粗糙程度:对于被测物体的表面不宜太过粗糙,因为粗糙的表面容易引起光的衍射,降低了光学膜厚仪的测量精度,造成很大的误差。所以被测物体的表面应该尽量保持光滑,以保证测量结果的精确性。