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关于纳米压印机可支持压印工艺,这里有详细介绍

发布时间:2021-07-26浏览:64次
  纳米压印技术是上世纪90年代Stephen Y Chou,针对传统光刻受波长限制提出的类似于模板刻印的一种技术。
 
  纳米压印机是一种非常灵活的压印设备。它可提供加热型纳米压印、UV紫外纳米压印以及真空纳米压印。模块化系统可根据特定需求轻松配置,体积小,容易存放,大可处理210mm圆形的任何尺寸印章和基材。该系统是手动装卸印章和模板,但所有处理器都是全自动的,软件用户可以完全控制压印过程。
 
  它的原理是:
  将具有纳米结构的模板通过一定压力,压入加热的熔融的高分子薄膜内,待高分子材料冷却,纳米结构定型,移去模板,然后再通过等离子体刻蚀等传统的微电子加工手段把结构转移到基底上。 
 
  纳米压印机拥有以下优势:
  1、分辨率优于10μm,产率优于99%;
  2、同时适用于软模和刚性模板;
  3、自动脱模,防止模板和基板损坏;
  4、可压印不同尺寸的模板和基片,方便灵活;
  5、可编程的PLC触屏界面;
  6、对准选项。
 
  可支持压印工艺:
  1、纳米压印模板自动脱离工艺-减少纳米压印结构缺陷;
  2、纳米压印胶点胶装置-可过滤0.20um的杂质,保证压印效果;
  3、纳米压印单层压印工艺-适合刻蚀(etching)工艺;
  4、纳米压印双层压印工艺-适合剥离(lift-off)工艺;
  5、纳米压印程序设定及优化工艺-可掌握纳米压印关键技巧;
  6、纳米压印模板抗粘层处理及材料-可对模板进行抗粘层处理;
  7、纳米压印模板复制工艺-可完成复制母版工艺;
  8、纳米压印快速模板转换工艺-可使用硅模板简单转化并实现UV压印工艺;
  9、纳米压印软膜压印工艺-提供完整的软膜压印工艺,可完成曲面压印并减少压印结构缺陷。