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原来三维形貌仪是由这四个系统构成的

发表时间:2021-11-24  |  点击率:9
  三维形貌仪是一款便携式表面形貌测量仪,采用白光共聚焦技术,可实现对材料表面从纳米到毫米量级的粗糙度测试,具有测量精度高,速度快,重复性好的优点,该仪器的测量探头可以任意旋转,适合精密测量 不可移动样品表面形貌,同时适合进行野外测试。
 
  本仪器是利用光学干涉原理研制开发的超精密表面轮廓测量仪器。照明光束经半反半透分光镜分成两束光,分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光,并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉,在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差,根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条文出现的位置解析出被测样品的相对高度。
 
  系统构成:
  光学照明系统:采用卤素光源、中心波长为576nm、光谱范围340nm—780nm;
  光学成像系统:采用无限远光学成像系统、由显微物镜和成像目镜组成;
  垂直扫描系统:采用闭环反馈控制方式驱动显微物镜垂直移动、移动范围0-500μm、位置移动精度 0.1nm;
  信号处理系统:计算机和数字信号协处理器组成、采集系列原始图像数据使用数字信号协处理器完成数据解析。
 
  优点:
  1、高分辨率:检测每个细节并提供极高的分辨搴。
  2、极高精度:提供高精度,生成精密的3D物体图像。
  3、首台真正便携式设备:可装入一只手提箱,携带到作业现场或者转移于工厂之间。
  4、价格实惠:具有竞争力,不需要连接CMM扫描臂或其他外部跟踪装置,且成本维护费用极低。
  5、手持式设备:设备的外形和重量分布完全满足长期使用,不会导致出现肌肉和骨骼酸痛。
  6、自定位:不需要额外跟踪或定位设备,创新的定位目标点技术可以使用户根据其需要以任何方式、角度移动被测物体。
  7、真正自动多分辨率:新型批量三角化处理装置可在需要时保持更高分辨率,同时在平面上保持更大三角形网格,从而生成更小的STL文件格式。
  8、双扫描模式:用户可使用安装在设备顶部的按钮在正常和高分辨率扫描模式之间切换。正常分辨率对于大型部件和动态扫描十分有用,而高分辨率于要求严格的复杂表面。
  9、功能强大,使用界面友好:即使在狭小的空闻内使用都应用自如,可扫描任何尺寸、形状及颜色的物体。只需极短的培训学习时间即可上手。