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光学轮廓仪有哪些功能,具体有哪7点优势?

发表时间:2021-12-24  |  点击率:156
  光学轮廓仪是一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。
 
  光学轮廓仪采用光学非接触式测量方法,它具有测量精度高、使用方便、分析功能强大、测量参数齐全等优点,其独特的光源模式,保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测,系统软件为简体中文操作系统,操作方便。
 
  具有以下优点:
 
  1、可以测量非接触式非平坦样品:由于光学轮廓测量法是一种非接触式技术,可以轻松测量弯曲和其他非平面表面。还轻松地测量曲面的表面光洁度,纹理和粗糙度。除此之外,作为一种非接触式方法光学轮廓仪不会像探针式轮廓仪那样损坏柔软的薄膜;
 
  2、无需更换耗材:只需要一个LED光源,无需其他配件更换;
 
  3、可视化3D功能:具有强大的处理软件,软件除包括表面粗糙度,形状和台阶高度的测量外,还可以任意角度移动样品量测三维图形,多角度分析样品图像;
 
  4、适用于各类样品:适用于各类金属、非晶硅和多晶硅、陶瓷材料、电介质、硬质涂层、高分子聚合物、光刻胶等的表面轮廓及粗糙度等测量;
 
  5、价格优势:市场上具性价比的白光干涉轮廓仪,具有价格优势的高精度轮廓仪;
 
  6、快速测量大面积区域:测量范围为毫米级别,配置XY样品台达100mm*100mm,可实现大面积样品的轻松测量;
 
  7、简单易用:只需将样品放置于样品台上,即可直接进行测量;
 
  光学轮廓仪只需操作者装好被测器件,在软件测量界面上设置好视场参数,调整镜头到接近器件表面,选择自动聚焦,仪器会对器件表面进行自动对焦并找到干涉条纹,调节好干涉条纹宽度后即可开始进行扫描测量;扫描结束后,软件分析界面自动生成器件3D图像,操作者可通过软件对生成的3D形貌进行数据处理与分析,获取表征器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、3D参数。