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膜厚测量仪典型的工作原理有哪三种,适用范围有什么不同?

更新时间:2022-07-06  |  点击率:915
  用过膜厚测试仪的人可能都知道,它可以分为手持式和台式二种,手持式又有磁感应镀层测厚仪,电涡流镀层测厚仪,荧光X射线仪镀层测厚仪。那么他们都采用了什么样的原理来实现测量目的的呢?今天就通过三个典型的型号案例来详细展开讲一讲原理和适用范围的事情。
 
  我们先要明确一点,不同膜厚仪测量原理是有区别的,其适用范围也会有差异,主要的就是以下3种,岱美仪器小编给大家详细介绍下:
 
  1、涡流法检测法原理:
 
  涡流膜厚仪工作原理:利用涡流法检测法,能够检测金属表面的氧化膜、漆膜或电镀膜等膜的厚度;但是,金属材料的性质不同,漆膜后检测也有很大不同。
 
  2、白光干涉原理:
 
  在被测量的薄膜上垂直照射可视光,光的一部分在膜的表面反射,另一部分透进薄膜,然后在膜与底层之间的界面反射,薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光产生干涉现象。利用白光干涉测量法的原理,它用一个宽波段的光源来测得不同波长的反射数据,由于反射率n和k随薄膜的不同而变化,根据这一特性进行曲线拟合从而求得膜厚。不同类型材料的相应参数通过不同的模型来描述,从而保证了不同类型材料膜厚测量的准确性。
 
  3、磁感应原理:
 
  采用磁感应原理时,利用从测头经过非铁磁覆层而流入铁磁基体的磁通的大小,来测定覆层厚度。也可以测定与之对应的磁阻的大小,来表示其覆层厚度。覆层越厚,则磁阻越大,磁通越小。利用磁感应原理的测厚仪,原则上可以有导磁基体上的非导磁覆层厚度。一般要求基材导磁率在500以上。如果覆层材料也有磁性,则要求与基材的导磁率之差足够大(如钢上镀镍)。当软芯上绕着线圈的测头放在被测样本上时,仪器自动输出测试电流或测试信号。
 
  早期的产品采用指针式表头,测量感应电动势的大小,仪器将该信号放大后来指示覆层厚度。一些电路设计引入稳频、锁相、温度补偿等地新技术,利用磁阻来调制测量信号。还采用设计的集成电路,引入微机,使测量精度和重现性有了大幅度的提高(几乎达一个数量级)。现代的磁感应测厚仪,分辨率达到0.1um,允许误差达1%,量程达10mm。
 
  综上是比较常见的3种膜厚测量仪的原理分析以及应用情况说明,还有一些其他类型的仪器以后会给大家再一一介绍,希望能帮助到广大用户。