随着传统的2D硅缩放达到其成本极限，半导体行业正在转向异构集成-将具有不同特征尺寸和材料的多个不同组件或管芯的制造，组装和封装到单个设备或封装中，以提高性能，这就是混合键合技术。EVG是面向MEMS、纳米技术和半导体市场的晶圆键合和光刻设备的供应商，近期推出了EVG®320D2W裸片制备和活化系统，这是业内弟一个用于混合硅酸盐管芯对晶片键合活化和清洗系统。晶圆键合系统集成了D2W键合所需的所有关键预处理模块，包括清洁，等离子体活化，芯片对准验证和其他必要的计量工具，并...

电容式位移传感器是一种广泛应用于机械加工、自动化控制和精密测量等领域的传感器。它可以检测物体的微小位移，并将其转换为电信号输出，具有高精度、高灵敏度、可重复性好等特点。电容式位移传感器的工作原理基于电容的变化。当两个带电电极之间有介质隔开时，它们之间的电容量会受到介质性能和电极间距离的影响而改变。因此，在该传感器中，常采用平行板电容器的结构，将一个电极固定在底部的称为静电极，另一个电极固定在一个动态可移动的测量物体上，称为运动极。当测量物体发生微小的位移时，运动极的位置也会发...

电镜隔振台是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，有利于为基础研究、应用研究、生产等领域所用精密仪器创造稳定的测量环境。本产品可在宽频率范围内进行隔振，为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、微型检测设备等提供优异的隔振性能。工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，有效的解决方案则是使用隔振台，以便营造适合该设备的条件。电镜隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生...

1.简介光学光刻（Opticallithography），也称为光学平版印刷术或紫外光刻，是在其他处理步骤（例如沉积，蚀刻，掺杂）之前用光刻胶对掩模和样品进行构图的方法。2.设备（接近式光刻机）2.1HMDS及涂胶1)标准旋转工艺中包括HMDS蒸汽预处理2)烤箱-批量处理多个晶圆3)HMDS也可以在手动旋转器上旋转涂布4）涂胶机上进行光刻胶的涂布2.2对准接触光刻1)光刻前的对准2)对准器——处理具有对准图形的晶圆3)EVG610等掩模对准机——尺寸从碎片到12”晶圆4)曝光...

电容式位移传感器是一种常用的测量装置，可以实时监测物体的位置、形态和运动状态等。但是，在使用电容式位移传感器时，也存在一些需要注意的问题，以下为详细介绍：1.静电干扰：电容式位移传感器对静电干扰比较敏感，在使用时应尽可能减少或避免静电干扰。特别是在干燥环境下，静电干扰更加严重，会造成误差的产生。2.灵敏度：本产品的灵敏度较高，因此需要进行相应的校准，以确保其精度和可靠性。校准时应注意传感器与被测对象之间的距离、介质、温度等因素的影响。3.温度漂移：温度变化会导致产品本身的参数...