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硅片厚度测量的多维技术体系与工艺适配策略
2025-05-07

硅片作为半导体、光伏及微电子等领域的核心材料,其厚度精度直接影响产品质量与性能。不同应用场景对厚度测量提出多样化需求,催生出一系列精准高效的测量技术。本文结合技术原理与实际应用场景,系统阐述多种硅片厚度测量方法。一、接触式测量:机械与压电技...

  • 2023-04-19

    多层膜厚度测试是指对由多个薄膜层叠加而成的复合膜进行厚度测量。由于多层膜通常由几个不同材料的薄膜层组成,因此测量其厚度需要考虑不同层之间的界面影响以及每个单独层的厚度。多层膜厚度测试仪是一款快速、准确测量薄膜表征应用的模块化产品。它采用先进的超声波技术,实现了较好的测量精度,具有优秀重复性和再现性。产品可以在任何生产环境中操作。附带的Windows应用软件管理数据传输和自动超声波波形分析。目前,产品可应用于在线膜厚测量、测氧化物、SiNx、感光保护膜和半导体膜。同时多层膜厚度...

  • 2023-04-19

    金属键合是一种广泛应用于制造业中的连接技术,它可以将两个或多个金属部件牢固地连接在一起。这种技术被广泛应用于汽车、航空、工程和电子行业中的制造过程中。金属键合设备是实现金属键合技术的关键部分。常见的金属键合设备包括:1.焊接机:焊接机是一种将金属部件加热至熔点的设备,并使用填充材料来填补缝隙使两者连接的设备。常见的焊接机包括氩弧焊机、激光焊机和摩擦焊机等;2.钎焊机:钎焊机是一种将金属部件加热至钎剂熔点的设备,并使用钎剂来连接金属部件的设备。常见的钎焊机包括火焰钎焊机和感应钎...

  • 2023-04-15

    光学膜厚仪是一种用于测量薄膜厚度的仪器。它主要基于光学干涉的原理,可以在不破坏被测物表面的情况下进行非接触式测量。由于其高精度、快速、稳定等特点,广泛应用于电子、光电、化学、材料科学等领域中。光学膜厚仪的最大特点就是其测量精度非常高,一般可达nanometer级别。同时,该仪器还具有快速测量、非接触式测量和测量范围广等优势。对于快速测量来说,它通常只需要几秒钟甚至更短时间就可以完成一次测量,而且可以实现自动化测量,极大地提高了工作效率。对于非接触式测量来说,这种测量方式避免了...

  • 2023-04-13

    1.2金属键合对于高亮度垂直LED(high-brightnessverticalLED,HB-VLED)来说,键合界面必须具有高热导和高电导的性能,幸运的是大部分金属材料导热性能好的同时导电性能也较好,使金属键合技术成为目前LED产业中最常使用的键合技术,即以金属膜为中间层实现晶圆对的连接。金属键合技术提供了高热导、低电阻、电流分布均匀及光吸收少的键合界面,无论是对于AlInGaP红光LED还是对于InGaN蓝光LED,采用金属键合技术都能有效提高其热学、电学和光学性能,因...

  • 2023-04-13

    0引言发光二极管(light-emittingdiode,LED)照明是利用半导体的电致发光发展而来的固态照明技术。自1907年第一只发光二极管问世,到20世纪90年代,人们对LED的研究进展缓慢,期间使用GaAs和InP等第二代半导体材料为光源的LED仅应用在光电探测及显示领域。直到20世纪90年代中期,日本的中村修二发明了世界上DI一只超高亮度的GaN基LED,照明领域的大门才向LED打开。GaN作为继第一代半导体材料Si,Ge和第二代半导体材料GaAs,InP等之后的第...

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