LODAS™ – AI50/100是列真株式会社推出的一款Photomask Blanks缺陷检查装置。
LODAS™ – BI8是列真株式会社推出的一款Photomask Blanks缺陷检查装置。
LODAS™ – BI12是列真株式会社推出的一款GlassWafe缺陷检查装置。
LODAS™ – LI系列是列真株式会社推出的一款FPD Photomask缺陷检查装置。
LODAS™ – CI8是列真株式会社推出的一款化合物半导体SiC、GaN晶圆检查装置。
海的超声波显微镜以水作为耦合介质,将超声波探头与被测芯片浸没,探头发射的超声波穿过水与塑封层,到达芯片内部界面(如 Die 与粘接层);通过分析界面反射回波的差异,即可识别粘接层空洞、分层、脱粘等缺陷,实现对芯片内部结构的非破坏性质量检测