LODAS™ – AI50/100是列真株式会社推出的一款Photomask Blanks缺陷检查装置。

LODAS™ – BI8是列真株式会社推出的一款Photomask Blanks缺陷检查装置。

LODAS™ – BI12是列真株式会社推出的一款GlassWafe缺陷检查装置。

LODAS™ – LI系列是列真株式会社推出的一款FPD Photomask缺陷检查装置。

LODAS™ – CI8是列真株式会社推出的一款化合物半导体SiC、GaN晶圆检查装置。