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简要描述:晶圆或者基板内应力高精度高解析度定量测量和缺陷检测
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应力测量
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晶圆或者基板内应力高精度高解析度定量测量和缺陷检测
采用自主的双远心检测光路,确保内应力测量结果准确可靠
高分辨成像:横向解析度,可精确定位微小缺陷
具备微管、包裹物、夹杂、气泡等晶圆缺陷的快速检测识别和显微复查功能
光学延迟
方位角
内应力
微管
微裂纹
硅、碳化硅、氮化镓、蓝宝石、砷化镓、磷化锢、碲锌镉、石英、玻璃等各种透光材料衬底品圆及外延片
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