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晶圆内应力测量仪-SV系列

简要描述:晶圆或者基板内应力高精度高解析度定量测量和缺陷检测

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 产品资料:
  • 更新时间:2026-07-27
  • 访  问  量: 14

详细介绍

产品概况

晶圆或者基板内应力高精度高解析度定量测量和缺陷检测


核心优势

采用自主的双远心检测光路,确保内应力测量结果准确可靠

高分辨成像:横向解析度,可精确定位微小缺陷

具备微管、包裹物、夹杂、气泡等晶圆缺陷的快速检测识别和显微复查功能


检测内容

  1. 光学延迟

  2. 方位角

  3. 内应力

  4. 微管

  5. 微裂纹


性能参数

晶圆内应力测量仪-SV系列


应用案例

晶圆内应力测量仪-SV系列


适用对象

硅、碳化硅、氮化镓、蓝宝石、砷化镓、磷化锢、碲锌镉、石英、玻璃等各种透光材料衬底品圆及外延片

硅、碳化硅、氮化镓、蓝宝石、砷化镓、磷化锢、碲锌镉、石英、玻璃等各种透光材料衬底品圆及外延片


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