
详细介绍
产品概况
专为透明材料微区应力测量设计,集成瞬时光弹测量与多波长,搭配双远心视觉引导,实现全自动测量。具备微米级横向分辨率与亚纳米级应力灵敏度,可清晰呈现TGV通孔区域应力分布
核心优势
双模测量:覆盖0.1nm-1500nm光程差自动检测,双远心视觉引导,适配批量测试
纳米级灵敏度:捕捉微弱应力变化
高分辨率:清晰解析微孔结构
拼接测量:支持大尺寸样品扩展测试
检测内容
显微成像
相位延迟
光学延迟
内应力
方位角
性能参数

应用案例

适用对象
适用于玻璃通孔(TGV)、品圆级封装、MEMS及微透镜阵列等微型特征的研发与生产质控
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