TGV600是一款专为玻璃基板(TGV)板级制程开发的全功能量检测设备，集成了显微内应力定量测量、高速2D光学检测(AOI)与3D形貌量测三大核心能力，覆盖从TGV通孔加工到填充、布线、封装的全流程质量监控需求。系统采用瞬时光弹测量应力定量测量核心技术，同时支持集成玻璃基板表面缺陷检查，通孔2D参数测量及通孔凹陷3D量检测功能，为TGV工艺提供快速全流程高性价比解决方案，是TGV工艺研发和质量监控