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晶圆关键尺寸测量
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GrazingMaster600平面度测量仪专业为微米级平面度平面零件制造商提供纳米级的表面平整度测量功能。采用非接触式光学干涉技术快速测量零件的整个表面,可以帮助用户快速评价从光滑到粗糙平面的平面度误差,尤其适合非镜面类平面表面的纳米级平面度精密测量。同时,系统集成白光干涉三维测量显微镜,可以同步实现精密平面表面微观粗糙度和微结构的三维测量。
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