电容式位移传感器是以电容器为敏感元件，将机械位移量转换为电容器电容量变化的一种传感器。其特点是结构简单、分辨率高、工作可靠、动态响应好，可实现非接触测量，能在恶劣环境条件下工作，主要用于位移、液位等方面的测量。本产品是一种非接触电容式原理的精密测量仪器，具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所，高等院校、工厂和军工部门得到广泛应用，成为科研、教学和...

键合机是一种高度灵活的晶圆键合系统，可以处理从碎片到200mm的基板尺寸。该工具支持所有常见的晶圆键合工艺，例如阳极，玻璃粉，焊料，共晶，瞬态液相和直接法。易于使用的键合腔室和工具设计允许对不同的晶圆尺寸和工艺进行快速便捷的重新工具化，转换时间不到5分钟。这种多功能性非常适合大学，研发机构或小批量生产应用。本产品与大批量制造工具上的键合室设计相同，键合程序易于转移，可轻松扩大生产规模。键合机的结构说明：1、炉体：采用双层水夹层结构，炉壁温度不超过60℃，内外壁为不锈钢抛光。上...

随着纳米技术的进步和薄膜工艺的发展(太阳能电池，CVD，PVD，DLC，MEMS等)，纳米力学测试已成为标准方法。这种方法改进了传统硬度测试的不足，通过J尖的压划头，高的空间分辨率和较精确的原位载荷-位移数据，可以较精确测量小载荷和浅压痕条件下的材料力学测试。纳米压痕-单一/多次压痕，根据ISO14577测量薄膜、涂层和块体材料的硬度，杨氏模量，拉伸和vonMises应力，接触刚度等。纳米划痕-采用恒定、渐进和用户自定义可编程加载方式，评价薄膜、涂层和块体材料的划痕硬度和划痕...

白光干涉仪是目前三维形貌测量领域精度最高的检测仪器之一。在同等放大倍率下，测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。在一些纳米或者亚纳米级别的超高精度加工领域，除了白光干涉仪，其它仪器达不到检测的精度要求。原理：它是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起，所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量，从而测得...

隔振台是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界先进的主动隔振性能。本产品通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。适用于各类大型电子显微镜AEM、SEM、ATM、TEM，干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！工作原理：安装有测量和制...