欢迎来到岱美仪器技术服务(上海)有限公司网站!
咨询热线

13917837832

当前位置:首页  >  技术文章  >  关于接触式光刻机的使用原理,您是否都知道?

关于接触式光刻机的使用原理,您是否都知道?

发表时间:2022-02-15  |  点击率:308
  接触式光刻机是一种用于信息科学与系统科学、能源科学技术、电子与通信技术领域的工艺试验仪器。
 
  主要构成:
  主要由对准工作台、双目分离视场CCD显微显示系统、LED曝光头、PLC电控系统、气动系统、真空管路系统、直联式真空泵、二级防震工作台和附件箱等组成。
 

 

  接触式光刻机的使用原理:
  其实在我国对于接触式光刻机,曝光时掩模压在光刻胶的衬底晶片上,其主要优点是可以使用价格较低的设备制造出较小的特征尺寸。
  我们也许不知道接触式光刻和深亚微米光源已经达到了小于0.1 gm的特征尺寸,常用的光源分辨率为0.5 gm左右。接触式光刻机的掩模版包括了要复制到衬底上的所有芯片阵列图形。在衬底上涂上光刻胶,并被安装到一个由手动控制的台子上,台子可以进行X、y方向及旋转的定位控制。
  在操作过程中掩模版和衬底晶片需要通过分立视场的显微镜同时观察,这样操作者用手动控制定位台子就能把掩模版图形和衬底晶片上的图形对准了。经过紫外光曝光,光线通过掩模版透明的部分,图形就转移到了光刻胶上。接触式光刻机的主要缺点是依赖于人操作,由于涂覆光刻胶的圆片与掩模的接触会产生缺陷,每一次接触过程,会在圆片和掩模上都造成一定的缺陷。因此,接触式光刻机一般用于能容忍较高缺陷水平的器件研究和其他应用方面。