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一分钟带您快速了解多波段椭偏仪的构造

发表时间:2022-02-22  |  点击率:378
  近年来,随着仪器行业的不断发展,多波段椭偏仪在市场上得到了快速地发展。由于其突出的表现,受到了广泛用户的青睐。目前本产品可以适用于超薄膜,与样品非接触等,下面我们就来具体的了解一下这款仪器!

  多波段椭偏仪的测量中使用不同的硬件配置,但每种配置都必须能产生已知偏振态的光束。测量由被测样品反射后光的偏振态。这要求仪器能够量化偏振态的变化量ρ。
 
  有些仪器测量ρ是通过旋转确定初始偏振光状态的偏振片。再利用第二个固定位置的偏振片来测得输出光束的偏振态。另外一些仪器是固定起偏器和检偏器,而在中间部分调制偏振光的状态,如利用声光晶体等,最终得到输出光束的偏振态。这些不同的配置的最终结果都是测量作为波长和入射角复函数ρ。
 
  在选择合适的多波段椭偏仪时候,光谱范围和测量速度也是一个通常需要考虑的重要因素。可选的光谱范围从深紫外的142nm到红外的33microm。光谱范围的选择通常由应用决定。不同的光谱范围能够提供关于材料的不同信息,合适的仪器必须和所要测量的光谱范围匹配。
 
  测量速度通常由所选择的分光仪器来决定。单色仪用来选择单一的、窄带的波长,通过移动单色仪内的光学设备,单色仪可以选择感兴趣的波长。这种方式波长比较准确,但速度比较慢,因为每次只能测试一个波长。如果单色仪放置在样品前,有一个优点是明显减少了到达样品的入射光的量。另外一种测量的方式是同时测量整个光谱范围,将复合光束的波长展开,利用探测器阵列来检测各个不同的波长信号。在需要快速测量的时候,通常是用这种方式。傅立叶变换分光计也能同时测量整个光谱,但通常只需一个探测器,而不用阵列,这种方法在红外光谱范围应用最为广泛。