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其实光学轮廓仪测量表面粗糙度步骤很简单!

发表时间:2022-07-19  |  点击率:302
  光学轮廓仪是一种双LED光源的非接触式光学仪器,对样品基本上没有损害。视样品选择不同测量模式。相移干涉模式(PSI)主要用于测量光滑表面粗糙度;垂直扫描干涉模式(VSI)则可以做高度、宽度、曲率半径,粗糙度的计测等。
 
  光学轮廓仪工作原理:
  光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束,一束经被测表面反射回来,另外一束光经参考镜反射,两束反射光最终汇聚并发生干涉,显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。
  3D形貌地图配合色谱图,非常直观,但横向测试范围,纵向高度尺度也很关键。在超精密加工中,3D AOI是对传统精密加工上的升级,弥补了传统 AOI 由于2D成像原理上的一些缺陷,改进设备性能以满足各大电子厂对质量和产品能得双重要求。光学轮廓仪工作原理是基于白光干涉原理而研发生产的,能以非接触的方式,无损检测精密机械加工表面,检测结果以3D数据地图的方式显示,能直观地展示了表面纹理特征。
  如表面粗糙度的测量。表面粗糙度跟形状误差、波纹度等参数一样,是表面微观几何特征,它们共同构成了物体的表面原始形貌特征。表面二维形貌特征的分析与评定通常是对粗糙度参数进行的评定,通常把小于lmm波距的形貌特征归结为表面粗糙度,而波距在1~10mm之间的定义为表面波纹度,大于10mm的则属于目测可知的宏观几何形状特征。
 
  其实光学轮廓仪测量表面粗糙度步骤很简单,具体如下:
  1、将样品放置在载物台镜头下方;
  2、检查电机连接和环境噪声,确认仪器状态;
  3、使用操纵杆调节Z轴,找到样品表面干涉条纹;
  4、完成扫描设置和命名等操作,点击开始测量;
  5、进入数据处理模块,点击校平,平面样品采用默认校平,点击右下角应用保存操作;
  6、进入分析工具模块,点击参数分析,直接获取面粗糙度数据,点击右侧参数标准可更换参数标准、增删参数类型;
  7、如果想获取线粗糙度数据,则需提取剖面线;
  8、进入数据处理界面,点击提取剖面图标,选择斜线,沿垂直于纹理方向提取剖面线;
  9、进入分析工具界面,点击参数分析图标,点击右侧参数标准,勾选所需线粗糙度相关参数,即可获取线粗糙度Ra数据。